为了及时清除聚集在过滤袋外壁上的粉尘，保证气体的正常流通，集尘器装有反吹装置，也有称逆洗装置的。在DCS操作画面上打开或关闭过滤器，实际上是决定反吹装置的投用与否。反吹装置由储气罐、薄膜阀、喷嘴、控制器等部分组成。反吹装置将集尘器(小型除尘器)内全部过滤袋分成5组、8组或10组，工作时按组进行反吹。由控制器输出信号到电磁阀控制薄膜阀打开，储气罐内的压缩空气从喷嘴射向过滤袋上部的出口，使过滤袋向外扩张，使外壁上的粉尘脱落。
1、储气罐
干燥的压缩空气经切断阀进入一个储气罐，供几个反吹组共同使用。5组8组的用1个储气罐，10组的用2个储气罐。储气罐满气体后停止进气，一旦薄膜阀动作，储气罐内压缩空气瞬间从管道流向喷嘴排放。储气罐起着反吹气体蓄压和定量的作用。
2、薄膜阀
控制器的输出的控制信号由薄膜阀来执行，每个薄膜阀控制一个反吹组。薄膜阀由一个电磁先导阀和若干级薄膜阀组成。通常电磁先导阀呈关闭状态，薄膜阀膜片在弹簧的作用下封闭出口，此时进口的压力通过阻尼孔向膜片背侧充压，在膜片两侧压力差的作用下，薄膜阀处于关闭状态。薄膜阀接到控制器的“开”信号，打开电磁先导阀排出膜片背侧的气体，膜片背压丧失，膜片在进口侧压力的作用下被迅速打开。薄膜阀接到控制器的“关”信号，电磁先导阀关闭，薄膜阀内膜片两边压力趋于平衡，在弹簧作用下关闭阀门，此时膜片两面的压力差保证阀门关闭。
一般对口径大、压力高的阀门都采用先导阀控制形式，有时还增加先导阀级数。如F503集尘器的薄膜阀就有2级先导阀，电磁阀先导打开薄膜阀再打开二级薄膜阀。
3、喷嘴
每个过滤袋上部的开口设有一个喷嘴，一个反吹组的几个喷嘴由管道连在一起。反吹时，喷嘴射出的气流卷吸周围的空气一起喷入过滤袋内侧，使过滤袋向外扩张，并向外流出，使积聚在过滤袋外壁的粉尘脱落。
4、控制器
每个集尘器(小型除尘器)配有1个控制器，控制器有较多10路输出信号，分别控制反吹装置的电磁阀打开或关闭，（根据集尘器的具体需要有时用5路，有时用8路）。控制器内有2个时间继电器的设置旋钮，1个设定电磁阀打开的时间，范围在40~330ms；1个设定各电磁阀打开的间隔时间，范围在2~30m。
控制器1路、2路、3路……逐个控制10路输出信号，周而复始。同一电磁阀连续2次动作的时间周期等于2个时间继电器设定时间之和的10倍。反吹装置是否投用，是通过开启和关闭控制器来执行的。
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